1.超纯水的定义 

  DI Water 即 Deionized Water，意为去离子水，也常被称作纯水(Pure water)，随着半导体行业的发展，对纯水水质的要求也在提高，在这高水质要求下所制造出来的水称之为超纯水(Ultra-pure water)。对于电阻率达18MΩ·cm的超纯水，其水质要求如下表所示

当水质达不到要求时，各因素导致的不良效果如下所示

2.超纯水的制备

  半导体工艺用水被称作超纯水，他与日常生活用水的主要区别在于电阻率，自来水是会导电的，而超纯水的电阻率可高达18MΩ·cm，几近绝缘。那么电阻率这么高的超纯水是如何制备出来的呢？

  自然界中不存在超纯水，要得到这种超纯水就需要通过各种各样的工艺去制备。超纯水系统包括预处理过滤部分、RO反渗透技术、EDI连续电解除盐技术和抛光混床工艺等，通过这些工艺的灵活搭配，可以制备出15兆欧－18兆欧的半导体工艺用水，满足半导体行业的大量用水需求。

3.超纯水（18MΩ·cm）的制备工艺

  自来水进入原水箱，通过原水泵增压，经砂滤、碳滤、软化树脂、保安过滤器，到达反渗透单元，经两级反渗透过滤进入EDI单元，达到电阻率15MΩ·cm（25℃）进入氮封水箱，再经TOC脱除、抛光混床、精密过滤器达到电阻率18MΩ·cm接入纯水供水管，到达使用点。 

4.系统图片展示