晶圆研磨废水如何处理
- 分类:新闻动态
- 作者:废水切割
- 来源:废水切割
- 发布时间:2020-08-20 10:01
- 访问量:
【概要描述】晶圆废水切割中SS浓度较高首要以单晶硅粉末呈现,单晶硅形成的泥粉有着量大,沉积困难等种种缺点,絮凝沉积办法是现在我国国内首要选用的处理办法,但是这种处理办法不仅额外增加了沉积物的量,并且沉积效果不抱负,运转费用非常高。而选用一般的有机膜,晶体在活动进程中的切削效果会使有机膜开裂,不仅前期投入高,并且替换频频。华清威尔特殊过滤系统的功能,膜片不会开裂,且不需替换;膜亲水性好,渗透性强,并且能实现有价值的单晶硅再回收以及废水切割的再利用。
晶圆研磨废水如何处理
【概要描述】晶圆废水切割中SS浓度较高首要以单晶硅粉末呈现,单晶硅形成的泥粉有着量大,沉积困难等种种缺点,絮凝沉积办法是现在我国国内首要选用的处理办法,但是这种处理办法不仅额外增加了沉积物的量,并且沉积效果不抱负,运转费用非常高。而选用一般的有机膜,晶体在活动进程中的切削效果会使有机膜开裂,不仅前期投入高,并且替换频频。华清威尔特殊过滤系统的功能,膜片不会开裂,且不需替换;膜亲水性好,渗透性强,并且能实现有价值的单晶硅再回收以及废水切割的再利用。
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晶圆废水切割中SS浓度较高首要以单晶硅粉末呈现,单晶硅形成的泥粉有着量大,沉积困难等种种缺点,絮凝沉积办法是现在我国国内首要选用的处理办法,但是这种处理办法不仅额外增加了沉积物的量,并且沉积效果不抱负,运转费用非常高。而选用一般的有机膜,晶体在活动进程中的切削效果会使有机膜开裂,不仅前期投入高,并且替换频频。华清威尔特殊过滤系统的功能,膜片不会开裂,且不需替换;膜亲水性好,渗透性强,并且能实现有价值的单晶硅再回收以及废水切割的再利用。
新式工艺: 废水→调度池→清威尔特殊过滤系统 →回用
选用传统工艺缺点:
1. 药剂投加费用高,且沉积后上清液仍有悬浮物,无法合格排放;
2. 后续再增设深度处理或吸附设备,整体处理本钱高;
3. 吸附设备归于耗材,不符合经济效益;
4. 有机膜的膜法过滤,由于硅单质四面体结构,活动进程中会对有机膜有磨削效果,使用进程中水质会逐步恶化。
Ceraflo膜系统对必定粒径范围内的研磨废水切割是直接过滤回用的进程,整个过滤进程不需要添加药剂,可满意反渗透进水要求, Ceraflo膜系统的清洗周期为半个月以上,恢复得快速,始终保持较高规范通量要求。以往可能需要多道过滤程序,但是现在一套过滤系统就足够了,集约化强,过滤水质规范高,单晶硅高倍浓缩之后再回收,发生恰当的经济效益。
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