注: 该文件来源摘抄于江苏环保局网，仅供半导体行业同仁参考。

目    次

前    言.......................................................................................................................................... II

1  范围............................................................................................................................................. 1

2  规范性引用文件........................................................................................................................... 1

3  术语和定义.................................................................................................................................. 2

4  污染物排放控制要求.................................................................................................................... 3

5  污染物监测要求........................................................................................................................... 5

6  标准的实施与监督........................................................................................................................ 8

前    言

为贯彻《中华人民共和国环境保护法》、《中华人民共和国大气污染防治法》、《中华人民共和国水污染防治法》等法律、法规，防治环境污染，改善环境质量，促进半导体行业生产工艺和污染治理技术的进步，制定本标准。

本标准规定了半导体工业企业或生产设施的水污染物和大气污染物排放限值、监测和监控要求，以及标准实施与监督等相关规定。

本标准未规定的污染物项目仍执行国家或地方污染物综合排放标准，国家或地方发布的（综合或行业）污染物排放标准中，排放限值严于本标准限值的，按照从严要求的原则，执行更严格的排放控制要求。

本标准为首次发布。

本标准由江苏省环境保护厅组织制订。

本标准起草单位：江苏省环境科学研究院、江苏省环科咨询股份有限公司。

本标准江苏省人民政府于2018年**月**日批准。

本标准自2018年**月**日实施。

本标准由江苏省环境保护厅解释。

半导体行业污染物排放标准

1  范围

本标准规定了半导体企业的水污染物和大气污染物排放标准值。

本标准适用于半导体企业的水污染物排放管理、大气污染物排放管理，以及半导体企业建设项目环境影响评价、建设项目环境保护设施设计、竣工验收及其投产后的污染控制与管理。

2  规范性引用文件

本标准内容引用了下列文件或其中的条款。凡是不注明日期的引用文件，其有效版本适用于本标准。

GB/T 6920     水质 pH值的测定 玻璃电极法

GB/T 7466     水质 总铬的测定

GB/T 7467     水质 六价铬的测定 二苯碳酰二肼分光光度法

GB/T 7470     水质 铅的测定 双硫腙分光光度法

GB/T 7471     水质 镉的测定 双硫腙分光光度法

GB/T 7475     水质 铜、锌、铅、镉的测定 原子吸收分光光度法

GB/T 7484     水质 氟化物的测定 离子选择电极法

GB/T 7485     水质 总砷的测定 二乙基二硫代氨基甲酸银分光光度法

GB 8978        污水综合排放标准

GB/T 11893    水质 总磷的测定 钼酸铵分光光度法

GB/T 11901    水质 悬浮物的测定 重量法

GB/T 11907    水质 银的测定 火焰原子吸收分光光度法

GB/T 11910    水质 镍的测定 丁二酮肟分光光度法

GB/T 11912    水质 镍的测定 火焰原子吸收分光光度法

GB/T 11914    水质 化学需氧量的测定 重铬酸盐法

GB/T 14668    空气质量 氨的测定 纳氏试剂比色法

GB/T 16157    固定污染源排气中颗粒物测定与气态污染物采样方法

GB 16297       大气污染物综合排放标准

GB/T 16489    水质 硫化物的测定 亚甲基蓝分光光度法

HJ 480           环境空气 氟化物的测定 滤膜采样氟离子选择电极法

HJ 481           环境空气 氟化物的测定 石灰滤纸采样氟离子选择电极法

HJ 484           水质 氰化物的测定 容量法和分光光度法

HJ 485           水质 铜的测定 二乙基二硫代氨基甲酸钠分光光度法

HJ 486           水质 铜的测定2,9-二甲基-1,10-菲啰啉分光光度法

HJ 487           水质 氟化物的测定 茜素磺酸锆目视比色法

HJ 488           水质 氟化物的测定 氟试剂分光光度法

HJ 489           水质 银的测定3,5-Br₂-PADAP分光光度

HJ 490           水质 银的测定 镉试剂2B分光光度法

HJ 493           水质 采样样品的保存和管理技术规定

HJ 494           水质 采样技术指导

HJ 495           水质 采样方案设计技术指导

HJ 505           水质 五日生化需氧量（BOD₅）的测定  稀释与接种法

HJ 533           环境空气和废气 氨的测定 纳氏试剂分光光度法

HJ 534           环境空气 氨的测定 次氯酸钠-水杨酸分光光度法

HJ 535           水质 氨氮的测定 纳氏试剂分光光度法

HJ 536           水质 氨氮的测定 水杨酸分光光度法

HJ 537           水质 氨氮的测定 蒸馏-中和滴定法

HJ 544           固定污染源废气 硫酸雾的测定 离子色谱法

HJ 548           固定污染源废气 氯化氢的测定 硝酸银容量法

HJ 549           环境空气和废气 氯化氢的测定 离子色谱法

HJ 583           环境空气 苯系物的测定 固体吸附/热脱附-气相色谱法

HJ 584           环境空气 苯系物的测定 活性炭吸附/二硫化碳解吸-气相色谱法

HJ 659           水质 氰化物等的测定 真空检测管-电子比色法

HJ 670           水质 磷酸盐和总磷的测定 连续流动-钼酸铵分光光度法

HJ 671           水质 总磷的测定 流动注射-钼酸铵分光光度法

HJ 694           水质 汞、砷、硒、铋和锑的测定 原子荧光法

HJ 732           固定污染源废气 挥发性有机物的采样 气袋法

HJ/T 38          固定污染源排气中非甲烷总烃的测定 气相色谱法

HJ/T 55          大气污染物无组织排放监测技术导则

HJ/T 60          水质 硫化物的测定 碘量法

HJ/T 67          大气固定污染源 氟化物的测定 离子选择电极法

HJ/T 75          固定污染源烟气排放连续监测技术规范（试行）

HJ/T 76          固定污染源烟气排放连续监测系统技术要求及检测方法（试行）

HJ/T 84          水质 无机阴离子的测定 离子色谱法

HJ/T 91          地表水和污水监测技术规范

HJ/T 195        水质 氨氮的测定 气相分子吸收光谱法

HJ/T 200        水质 硫化物的测定 气相分子吸收光谱法

HJ/T 373        固定污染源监测质量保证与质量控制技术规范（试行）

HJ/T 397        固定源废气监测技术规范

HJ/T 399        水质 化学需氧量的测定 快速消解分光光度法

《污染源自动监控管理办法》（国家环境保护总局令 第28号）

《环境监测管理办法》（国家环境保护总局令 第39号）

3  术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

    半导体企业semiconductor industry

指从事半导体分立器件或集成电路的制造、封装测试的企业。

3.2

    特殊保护水域special protected water area

指《江苏省太湖水污染防治条例》中划定的太湖流域水域；GB3838中II类水域；由本省各市人民政府规定的居民集中式生活饮用水取水口卫生防护带水域。

3.3

    废气处理设施exhaust gas control devices

指处理废气的湿式洗涤塔、焚烧塔、吸收塔、冷凝塔或其他设备，但不包括工艺中设备自带的预处理设备。

3.4

    密闭排气系统closed vent system

指可将设备或设备组件排出或逃逸的空气污染物捕集并输送至废气污染防治设备，使传送的气体不直接与大气接触的系统。

3.5

    现有企业existing facility

指本标准实施之日前已建成投产或环境影响评价文件已通过审批的半导体企业或生产设施。

3.6

    新建企业new facility

指本标准实施之日起环境影响评价文件通过审批的新建、改建和扩建的半导体工业建设项目。

3.7

    直接排放direct discharge

指排污单位直接向环境水体排放水污染物的行为。

3.8

    间接排放indirect discharge

指排污单位向公共污水处理系统排放水污染物的行为。

3.9

    公共污水处理系统public wastewater treatment system

通过纳污管道等方式收集废水，为两家以上排污单位提供废水处理服务并且排水能够达到相关排放标准要求的企业或机构，包括各种规模和类型的城镇污水处理厂、区域（包括各类工业园区、开发区、工业聚集地等）废水处理厂等，其废水处理程度应达到二级或二级以上。

3.10

    挥发性有机物volatile organic compounds,VOCs

参与大气光化学反应的有机化合物，或者根据规定的方法测量或核算确定的有机化合物。

3.11

    非甲烷总烃non-methane hydrocarbon

采用规定的监测方法，检测器有明显响应的除甲烷外的碳氢化合物的总称（以碳计）。本标准使用“非甲烷总烃（NMHC）”作为排气筒和厂界挥发性有机物排放的综合控制指标。

3.12

    标准状态standard condition

指温度为273.15K，压力为101325Pa 时的状态。本标准规定的大气污染物排放浓度限值均以标准状态下的干气体为基准。

3.13

    企业边界enterprise boundary

指半导体工业企业的法定边界。若无法定边界，则指企业的实际占地边界。

4  污染物排放控制要求

4.1 水污染物排放控制要求

4.1.1标准分级

4.1.1.1 特殊保护水域内不准新建排污口。原有排污口执行表1标准和表2中的特别排放限值标准。

4.1.1.2 现有企业2018年7月1日前仍执行现行标准，自2018年7月1日起执行表1、表2规定的水污染物排放限值。

4.1.1.3 自2018年7月1日起，新建企业污水执行表1、表2规定的排放限值。

4.1.2 标准值分类

4.1.2.1 本标准将污染物按其性质及控制方式分成二类。

4.1.2.1.1 第一类污染物，不分污水排放方式和受纳水体的功能类别，一律在车间或车间处理设施排放口采样，其最高允许排放浓度应达到本标准要求。

4.1.2.1.2 第二类污染物，在排放单位排放口采样，其最高允许排放浓度应达到本标准要求。

4.1.2.2 本标准对氟化物、悬浮物（SS）、生化需氧量（BOD₅）、化学需氧量（COD_Cr）、氨氮5项污染物均规定了以日均值计的最高允许排放浓度和以瞬时值计的最高允许排放浓度两项指标，这5项污染物的排放应同时遵守上述两项指标。其他污染物的最高允许排放浓度以日均值计。

4.1.2.3  企业向城镇污水处理厂排放废水时，水污染物排放执行表1、表2排放控制要求；企业废水排入公共污水处理系统的除总镉、总铬、六价铬、总砷、总铅、总镍、总银执行表1排放控制要求外，由企业与公共污水处理系统商定或执行相关标准，并报当地环境保护主管部门备案，公共污水处理系统排放应保证达到相关环保要求。

4.1.3 标准值

半导体企业的水污染物排放执行表1和表2的规定。

表1 第一类污染物最高允许排放限值

单位：mg/L

表2 第二类污染物最高允许排放限值

单位：mg/L （pH值除外）

4.2 大气污染物排放控制要求

4.2.1位于GB3095中一类区的污染源禁止排放表3所列的大气污染物。

4.2.2 现有企业2018年7月1日前仍执行现行标准，自2018年7月1日起执行本标准表3规定的排放限值。

4.2.3 自2018年7月1日起，新建企业执行表3规定的排放限值。

表3 大气污染物排放限值

单位：mg/m³

4.2.4 企业边界大气污染物任何1小时平均浓度执行表4 规定的限值。

表4 企业边界大气污染物浓度限值

单位：mg/m³

4.2.5 为减少全氟化物（PFCs）排放对环境产生的影响，集成电路制造企业宜制订PFCs排放的年削减计划，通过优化工艺、原料替代、循环利用、污染治理等措施减少PFCs的排放。

4.2.6 其他规定

4.2.6.1排气筒高度不应低于15m，具体高度按批准的环境影响评价文件要求确定。

4.2.6.2 当排气筒周围半径200m范围内有建筑物时，除应执行4.2.6.1规定外，排气筒还应高出最高建筑物3m以上。

4.2.6.3如果排气筒高度达不到4.2.6.1、4.2.6.2的任何一项规定时，其大气污染物排放限值应按标准排放限值的50%执行。

4.2.6.4企业内部设置的锅炉，其大气污染物排放应执行GB13271。

5  污染物监测要求

5.1 污染物监测的一般要求

5.1.1 企业应按照有关法律和《环境监测管理办法》等规定，建立企业监测制度，制定监测方案，对污染物排放状况及其对周边环境质量的影响开展自行监测，保存原始监测记录，并公布监测结果。

5.1.2 企业安装污染源排放自动监控设备的要求，按有关法律和《污染源自动监控管理办法》的规定执行。

5.1.3 企业应按照环境监测管理规定和技术规范的要求，设计、建设、维护永久性采样口、采样测试平台和排污口标志。

5.1.4 对企业排放的废水和废气的采样，应根据监测污染物的种类，在规定的污染物排放监控位置进行。有废水、废气处理设施的，应在该设施后监控。

5.2 水污染物监测要求

5.2.1 水污染物的监测采样按HJ/T 91、HJ 493、HJ 494、HJ 495 的规定执行。

5.2.2 对企业排放水污染物浓度的测定采用表5所列的方法标准。

表5水污染物浓度测定方法标准

5.3 大气污染物监测要求

5.3.1 排气筒中大气污染物的监测采样按GB/T 16157、HJ/T 397 或HJ/T 75 规定执行；大气污染物无组织排放的监测按HJ/T 55 规定执行。

5.3.2 对企业排放大气污染物浓度的测定采用表6所列的方法标准。

表6 大气污染物浓度测定方法标准

6 标准的实施与监督

6.1 本标准由县级以上人民政府环境保护行政主管部门负责监督实施。

6.2 在任何情况下，企业均应遵守本标准的污染物排放控制要求，采取必要措施保证污染防治设施正常运行。各级环保部门在对设施进行监督性检查时，可以现场即时采样或监测获得的结果作为判定排污行为是否符合排放标准及实施相关环境保护管理措施的依据。