将晶元半导体研磨废水排入收集槽;然后收集槽内的液体经调理池进入pH调整池进行处理;等到pH调整池处理后的液体进入混合反应池进行处理;紧接着混合反应池处理后的液体进入絮凝反应池进行处理;絮凝反应池处理后的液体进入沉淀池进行处理;沉淀池处理后的液体经UF给水箱进入砂滤器进行处理;砂滤器处理后的液体进入UF设备进行处理;UF设备处理后的液体进入处理水箱待回用。本发明可对晶元半导体研磨废水进行有效处理，处理后水质满足出产回用需求，可完结零排放，全收回。

　　在国家加大节能减排力度的布景下，国内三废工作持续取得了较好的开展成绩。我国“十二五”规划大纲提出，强化环境管理，到2015年，完结乡镇日子废物无害化处理率百分之一百，城市日子污水会合处理率百分之九十，工业企业半导体研磨废水、废气排放达标率百分之一百，工业固体废物处置利用率百分之一百。

　　工业出产中，很多半导体企业均会在出产工艺涉及到晶元研磨工艺，该工艺一般选用处理本钱较高的高纯水作为冲刷水，而产生的硅晶粉末颗粒细微，使用传统工艺一般是选用简略的絮凝去除，去除功率较低，因此不可避免地产生含硅晶粉末废水，这些废水无法收回利用，仅能排放。跟着国内环保要求的不断提高，如何削减半导体研磨废水排放，充分利用水资源，特别是本钱较高的高纯水资源抵达经济效益已成为环保工作亟待解决的技能难题。